您當(dāng)前位置 :半導(dǎo)體行業(yè)2022-11-11
特種氣體是半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)制造過(guò)程中關(guān)鍵性材料，用于集成電路擴(kuò)散、光刻、刻蝕、離子注入、薄膜生產(chǎn)、拋光和金屬化七中關(guān)鍵生產(chǎn)工藝和每一制造環(huán)節(jié)中，被稱之為半導(dǎo)體制造的“血液”和“糧食”。
特種氣體是半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)制造過(guò)程中關(guān)鍵性材料，用于集成電路擴(kuò)散、光刻、刻蝕、離子注入、薄膜生產(chǎn)、拋光和金屬化七中關(guān)鍵生產(chǎn)工藝和每一制造環(huán)節(jié)中，被稱之為半導(dǎo)體制造的“血液”和“糧食”。
