由于氣體分為簡(jiǎn)單氣體、多組分氣體、混合氣體和有機(jī)化合物氣體，構(gòu)成氣體的物質(zhì)（或元素）可稱為氣體組分。因此，氣體純度的含義可以理解為除氣體成分外還包含許多其他物質(zhì)。例如，氮的純度是指除N組分外，O2、H2、Ar、CO2、H2O、金屬和灰塵顆粒等雜質(zhì)的量；氨的純度是指除NH3外，O2、N2、CO2、H2O和灰塵顆粒等雜質(zhì)的量；另一個(gè)例子是氮?dú)夂秃獾幕旌衔铮傅氖荖2和He組分旁邊的雜質(zhì)量，如O2、CO2、H2O塵埃顆粒。參考?xì)怏w純度的方法有很多，如普通清潔氣體、高純度氣體、電子清潔氣體、超純氣體等。隨著超大集成電路（VLSI）和超大規(guī)模集成電路（ULSI）的發(fā)展，出現(xiàn)了VLSI和ULSI級(jí)的純氣體。這些公式并不十分準(zhǔn)確，但它們只給出了氣體純度的粗略描述，而不是氣體純度的大小。有兩種主要方法可以準(zhǔn)確地表示氣體的純度。即：1.以百分比表示，如99%、99.5%、99.9%、99.999%、99.9999%、99.999%、99.999 9%、99.99 9%、99.99.999%等。

2.使用“N”顯示，如3N、5N、4.8N、5.5N、6N、7N等。數(shù)字N對(duì)應(yīng)于（1）中的數(shù)字“9”，小數(shù)點(diǎn)后的數(shù)字表示小于“9”的數(shù)字。例如，4N（99.99%）6N（99.9999%）5N（99.999%）4.8N（99.998%）5.5N（99.99.95%）等。根據(jù)氣體純度的不同，氣體純度一般分為四級(jí)，即普通氣體、純氣體、高純度氣體和超高純度氣體。下表顯示了氣體純度和設(shè)備生產(chǎn)工藝的應(yīng)用。